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综合技术1

 

简单介绍:

    静电吸盘是用静电来吸住晶片等其他材料

工作原理对比:

     静电吸盘是通过给内部加电压产生静电来吸住对方

     静电吸盘可以在真空环境下工作

     空气吸盘是通过空气原理吸住对反

半导体制造装置上吸盘是单极性的,工作环境要求在

     真空情况下!所以静电吸盘式半导体制造装置机器上

      不可缺少的重要部件